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四氟化碳,四氟甲烷,CF4


四氟化碳(四氟甲烷,CF4)物理化学性质

四氟甲烷(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane),亦称四氟化碳、全氟化碳,PFC-14(R-14),化学式CF4,商品名称Reflube 14,相对分子量88.00。在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点-128℃,熔点-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74MPa,蒸气压(-150.7℃)13.33kPa,介电常数(25℃,0.5MPa)1.0006。挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1MPa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒氟化物,危险性类别为第2.2类不燃气体。

四氟化碳(四氟甲烷,CF4)用途

四氟甲烷(R-14)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温fun88体育、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

四氟化碳(四氟甲烷,CF4)包装

可重复使用高压钢瓶包装(需回收包装钢瓶):20kg/瓶,35kg/瓶。

四氟化碳(四氟甲烷,CF4)产品质量标准(QUALITY STANDARD FOR CF4

指标名称高纯级优级品一级品
含量,%(v/v)≥99.9999.999
氮气,%(v/v)≤0.0020.030.3
氧气,%(v/v)≤0.00050.010.1
水份,pm ≤5510
二氧化碳,ppm ≤510 800
氟化碳,ppm ≤1520 -
酸度,(HF)ppm ≤0.11 -
六氟化硫,ppm ≤ - -600

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